Les platines de rotation : Métrologie dimensionnelle à base d’interféromètres fibrés

Alain LESTRADE

(Responsable du Groupe Alignement et Métrologie, Synchrotron SOLEIL, Gif sur Yvette, France)

La maîtrise des techniques de l’imagerie à rayons X durs à l’échelle de quelques dizaines de nanomètres, que ce soit par balayage (scanning hard X-ray nanoprobe techniques) ou par radiographie en plein champ (full-field transmission X-ray microscopy, TXM) est, depuis quelques années, un enjeu stratégique pour les laboratoires synchrotron. À ce titre, les platines de rotation des stations échantillon permettant l’acquisition de données tomographiques, et par conséquent du scanning 3D, font l’objet d’investigations dans le domaine de la métrologie dimensionnelle afin de qualifier, voire contrôler le défaut de stabilité de leur axe de rotation. Nous présentons les résultats obtenus au laboratoire MétroDim sur deux platines de technologies différentes : piezoélectrique et air bearing. La discussion s’orientera dans un deuxième temps sur les avantages et inconvénients des capteurs interférométriques fibrés utilisés pour cette métrologie avec les résultats sur banc test mettant en évidence leurs erreurs de non-linéarité périodiques.

Formalités d’entrée :

Merci de vous munir d’une pièce d’identité à échanger à l’accueil contre un badge d’accès.

Contact : Sandrine Vasseur